1 简介

真(zhen)空泵(beng)是一种旋转(zhuan)式变(bian)容真(zhen)空泵(beng)须(xu)有(you)(you)前(qian)级泵(beng)配合方(fang)可(ke)使用(yong)在较宽的压力范围(wei)内(nei)有(you)(you)较大(da)的抽(chou)速对被抽(chou)除气体中含有(you)(you)灰(hui)尘(chen)和水蒸汽不敏感广泛用(yong)于冶金(jin)、化工、食(shi)品、电(dian)子镀(du)膜等(deng)行(xing)业。[1]

2 特点

(1)在较宽的压力范围内(nei)有较大的抽速；

(2)转(zhuan)子具有良(liang)好(hao)的几何对称性，故(gu)振(zhen)动(dong)(dong)小，运转(zhuan)平稳(wen)。转(zhuan)子间及转(zhuan)子和壳体间均有间隙，不(bu)用润(run)滑(hua)，摩(mo)擦损失小，可(ke)大大降低驱(qu)动(dong)(dong)功率(lv)，从(cong)而可(ke)实现较高转(zhuan)速；

(3)泵腔(qiang)内无需用油密(mi)封和润滑(hua)，可(ke)减少油蒸气对真(zhen)空(kong)系统的污染；

(4)泵腔内无压缩，无排气(qi)阀。结构(gou)简单、紧(jin)凑(cou)，对被抽气(qi)体中(zhong)的灰(hui)尘和(he)水蒸汽不敏感；

(5)压(ya)缩比(bi)较低，对(dui)氢(qing)气(qi)抽气(qi)效(xiao)果(guo)差；

(6)转子表(biao)面为形(xing)状较为复杂的曲(qu)线(xian)柱面，加(jia)工(gong)和检查比较困难。

3 结构

（1） 泵总(zong)体结构型式(shi)

真空泵的(de)泵体(ti)的(de)布(bu)置结构决定了泵的(de)总体(ti)结构。

立式(shi)结构的进、排气口水(shui)平(ping)设置，装配和(he)连接管路都比较(jiao)方(fang)便(bian)。但泵的重心(xin)较(jiao)高(gao)，在高(gao)速运转时稳定(ding)性(xing)差，故(gu)这种型式(shi)多用于小泵。

卧式(shi)泵的进气(qi)口在(zai)上，排(pai)(pai)气(qi)口在(zai)下。有时为了真空(kong)系(xi)统管道安装连接(jie)方便(bian)，可将排(pai)(pai)气(qi)口从水平方向接(jie)出，即进、排(pai)(pai)气(qi)方向是相(xiang)互(hu)垂直的。此(ci)时，排(pai)(pai)气(qi)口可以从左(zuo)或右两个方向开(kai)口，除接(jie)排(pai)(pai)气(qi)管道一(yi)端(duan)(duan)外，另一(yi)端(duan)(duan)堵死或接(jie)旁通阀(fa)。这种(zhong)泵结(jie)构重心低，高速运转时稳定性好。一(yi)般大、中型(xing)泵多(duo)采用此(ci)种(zhong)结(jie)构。

泵(beng)的(de)两个转(zhuan)子(zi)轴与(yu)水平面垂(chui)直安(an)装。这种结构装配间隙容易控制，转(zhuan)子(zi)装配方(fang)便(bian)(bian)，泵(beng)占地面积小。但(dan)泵(beng)重心较高且齿(chi)轮拆装不便(bian)(bian)，润滑(hua)机(ji)构也相对复杂。

（2） 泵的(de)传(chuan)动(dong)方式

真空泵(beng)的(de)(de)两(liang)个转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)(zi)是通过一(yi)对高精度(du)齿(chi)(chi)轮(lun)来实现其(qi)相对同(tong)步运(yun)(yun)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)的(de)(de)。主动(dong)轴(zhou)(zhou)(zhou)(zhou)通过联轴(zhou)(zhou)(zhou)(zhou)器(qi)与电机(ji)(ji)(ji)联接。在(zai)传动(dong)结构布置上(shang)主要有以(yi)下(xia)两(liang)种(zhong)：其(qi)一(yi)是电动(dong)机(ji)(ji)(ji)与齿(chi)(chi)轮(lun)放在(zai)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)(zi)的(de)(de)同(tong)一(yi)侧如图。从动(dong)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)(zi)由电动(dong)机(ji)(ji)(ji)端齿(chi)(chi)轮(lun)直接传过去带动(dong)，这(zhei)样(yang)主动(dong)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)(zi)轴(zhou)(zhou)(zhou)(zhou)的(de)(de)扭转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)变(bian)形小，则两(liang)个转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)(zi)之间(jian)的(de)(de)间(jian)隙不(bu)会因主动(dong)轴(zhou)(zhou)(zhou)(zhou)的(de)(de)扭转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)变(bian)形大而改变(bian)，故使转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)(zi)之间(jian)的(de)(de)间(jian)隙在(zai)运(yun)(yun)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)过程中均(jun)匀。这(zhei)种(zhong)传动(dong)方式的(de)(de)最大缺点是：a.主动(dong)轴(zhou)(zhou)(zhou)(zhou)上(shang)有三(san)个轴(zhou)(zhou)(zhou)(zhou)承，增加(jia)(jia)了(le)泵(beng)的(de)(de)加(jia)(jia)工和装(zhuang)配(pei)难(nan)度(du)，齿(chi)(chi)轮(lun)的(de)(de)拆装(zhuang)及调(diao)整也不(bu)便；b.整体结构不(bu)匀称，泵(beng)的(de)(de)重心偏向(xiang)电动(dong)机(ji)(ji)(ji)和齿(chi)(chi)轮(lun)箱一(yi)侧。

    极限真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)”是(shi)(shi)(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)的(de)一个(ge)重(zhong)要参数，是(shi)(shi)(shi)反应(ying)泵(beng)抽(chou)气(qi)能(neng)力(li)的(de)特(te)性值(zhi)(zhi)，是(shi)(shi)(shi)与真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)相关的(de)一个(ge)数值(zhi)(zhi)，不(bu)同的(de)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)可以有(you)不(bu)同的(de)“极限真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)”度(du)。而(er)“理论(lun)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)”是(shi)(shi)(shi)理论(lun)研究(jiu)时的(de)一个(ge)概念，是(shi)(shi)(shi)排除各(ge)种(zhong)实际因(yin)素的(de)影响(xiang)而(er)提炼(lian)出的(de)一种(zhong)最(zui)(zui)理想的(de)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)状态。真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)容(rong)器经充分(fen)抽(chou)气(qi)后，稳定(ding)在某一真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度(du)，此真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度(du)称为极限真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)。通常真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)容(rong)器须经12小(xiao)时炼(lian)气(qi)，再经12小(xiao)时抽(chou)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)，最(zui)(zui)后一个(ge)小(xiao)时每隔10分(fen)钟测(ce)量一次(ci)，取(qu)其(qi)10次(ci)的(de)平均值(zhi)(zhi)为极限真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)值(zhi)(zhi)。